全新交付在即！蓝海科学仪器闭循环高低温真空探针台入驻上海某高校

发布时间:2026-03-12 17:18 3292次浏览 作者:蓝海科仪(天津)仪器仪表有限公司

全新交付在即！蓝海科学仪器自主设计、研发的闭循环高低温真空探针台已完成最终出厂多环节测试，即将入驻上海某高校实验室投入使用。

技术参数

技术参数｜连续流低温探针台

可用于半导体芯片高精度光电性能测试，可提供不低于6.5K~350K的可控测试环境温度范围，且样品环境真空度优于5x10^-4 torr。

• 探针台为闭循环低温控制系统，可控温度范围6.5K~350K

• 探针台从室温到最低温120min，最低温升到室温90min

• 探针台安装四路直流探针，可测试小于2英寸的样品

• 高精度探针座X方向位移距离50mm，Y方向位移距离25mm，Z 方向位移距离25mm，位移精度3μm，每路探针配一个三同轴接口

• 探针安装托热锚(热沉)到样品台同级平台，减小探针和样品台同级平台之前的温差，探针安装托温度低于20K

• 探针台配置两英寸样品台，样品台浮地屏蔽设计，带背部电极，样品台表面镀金处理，探针运动范围覆盖整个样品台

• 探针台铝电镀真空室(内径215mm×180mm)、铜辐射屏镀金(内径150mm，高度100mm)，辐射屏上带有观察窗(材料蓝宝石，直径50mm)和针臂进入口

• 探针台真空罩观察窗净尺寸直径65mm，观察窗材料使用熔融石英

• 探针台样品环境真空度优于 5x10^-4 torr，从大气压到 5x10^-4 torr 时间小于1小时，真空室桌面下端安装KF25真空抽口1个，真空口抽口上安装可拆卸的KF25手动真空阀门，真空室桌面上端安装1个独立放气阀

• 探针台温度稳定性：全温区优于±50mk

• 探针台配置样品台上安装1个硅二极管传感器和1个单头加热器，用于测量和控制样品台温度。探针臂上安装1个硅二极管传感器，用于监视探针臂的实时温度。辐射屏上安装1个PT100(铂热电阻)传感器和1个单头加热器，用于测量和控制辐射屏温度。二级冷头上安装1个硅二极管传感器，实时检测二级冷头温度

• 探针台提供四路温度测量和两路加热输出，组成两路闭环控制，一路闭环控制包括一路温度测量和一路加热输出，一路闭环控制用于样品台，另一路闭环控制用于辐射屏，其余两路温度测量分别用于探针臂和二级冷头。控温仪温度分辨率1mK，加热功率75W，具备通信接口，提供控温软件实施显示监测温度、控制温度

• 探针台配备工业 CCD 电子显微镜，显微镜 3400万像素，分辨率小于4μm，22 英寸显示器

• 低温原位探针，消除热应力，全温区操作，无需二次扎针，针托接口SMA，漏电小于100fA

技术参数｜机械泵机组

• 前级泵抽速2.2L/s

• 配置KF25卡箍2个及1.5m柔性波纹管1根

技术参数｜一体水冷机

• 水冷机功率不低于8KW

• 水箱容积90L，水温5-35℃

从设计、研发到生产、调试，蓝海科学仪器团队始终以严苛标准把控品质，为高校科研工作提供可靠、高效、长期稳定的测试解决方案。

未来，蓝海科学仪器将继续以自研技术为依托，与高校深度合作，共同打造高水平科研实验平台，助力人才培养与科研成果转化。

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