◆ 样品台：镀金样品台(三同轴、同轴、接地)
◆ 样品台尺寸：2英寸/4英寸
◆ 显微镜：最小分辨率2μm或4μm可选
◆ 探针臂：最多可安装6个探针臂、X方向行程：50mm、移动分辨率3μm;Y、Z方向行程：25mm,移动分辨率5μm
◆ 探针配置：DC探针、射频探针、光纤探针可选
◆ 真空系统：机械泵或分子泵
◆ 真空度：5×10^-3Pa(室温)、5×10^-5Pa(最低温)
◆ 温度范围：4.5K-350K(两个针臂)、5.5K-350K(四个针臂)、6K-350K(六个针臂)、20K-675K(高温选件)
◆ 温控精度：小于300K、±50mK、大于300K、±100mK
◆ 低振动选件：真空泵与腔体间机械物理隔振、压缩机与冷头之间机械物理隔振、桌面气浮隔振、最低振动小于1μm
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